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HORIBA MV-2000 系列混合注入系統液體汽化器簡介

產品參數

產品品牌

HORIBA堀場

產品類型

質量流量計/控制器

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售后服務

完善

產品簡介

MV-2000 系列采用新的螺旋流加熱方法，即使在低溫下也能實現穩定汽化。適用于包含 “High-k”工藝液體在內的一系列液體源的汽化。

功能/特點：
使用螺旋流加熱方法實現穩定的低溫汽化
大流量汽化（增加穩定性數據）
可汽化易熱解的液體源

HORIBA MV-2000 系列混合注入系統液體汽化器參數

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