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HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點監測的高級氣體監測儀簡介

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HORIBA堀場

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質量流量計/控制器

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產品簡介

IR-400 可在沉積過程中實時監測腔室清洗終點。通過優化清洗過程，IR-400 減少了清洗時間和氣體用量。清洗氣體用量減少會降低對腔室的損害，并增加所有系統部件的壽命。多氣體監測（支持 SiF4 和 CF4） (IR-422) 高靈敏度氣室加熱功能最高可達 180℃ 多重顯示模擬/數字通信

功能/特點：
IR-400 實時終點監測的優勢
減少腔室清洗時間
減少清洗氣體使用量
可重復和可預測的清洗過程
延長腔室組件壽命

HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點監測的高級氣體監測儀參數

上海進佳科學儀器有限公司，擁有多個國外儀表行業品牌的授權代理證，旗下每一個品牌均歷經市場的考驗。公司團隊擁有豐富的從業經驗以及扎實的專業知識，對各個品牌的產品優勢和市場定位有深入了解。公司始終秉持以客戶為中心的理念，致力于為客戶提供全方位、個性化的服務解決方案。

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