HORIBA R600質量流量控制器介紹

2025-08-24 17:57

日本HORIBA堀場推出的R600系列質量流量控制器，是一款集成數字通信與模擬控制功能的氣體流量控制解決方案。該產品適用于各類對壓力、流量有精密調節需求的工業場景，可在多種制程條件下穩定運行，具備良好的適應能力與控制性能。

HORIBA R600 精細化背壓控制方式，適應復雜工況

R600系列采用背壓控制方式（Back Pressure Control），可根據下游系統的流動狀態自動調節出口壓力，在需要恒定背壓的系統中發揮作用。該控制邏輯適合各類氣體輸送場景，提升了系統的整體穩定性與可控性。

多種電信號接口，兼容性良好

R600系列同時支持模擬信號控制（0~5VDC）與數字通信協議（RS485/F-Net協議），使得用戶可以根據自身系統架構靈活選配控制方式，適配自動化生產線或實驗平臺。同時支持±15V ±5%、200mA供電，亦可選配24VDC電源，適應不同工廠環境的能源系統。

關鍵性能參數穩定，注重細節工藝

該產品具有以下核心技術規格：

  • 適用介質：氣體（Gas）

  • 壓力范圍：10~300kPa (A) F.S

  • 最大使用壓力：400kPa (A)

  • 閥門類型：電磁閥（常閉型）

  • CV值（流通能力）：0.016（5.5L/M）或0.022（7.5L/M）

  • 控制精度：±0.5% F.S

  • 溫度系數：±0.05% F.S/℃（良好穩定性）

  • 流速響應：1 × 10^-1 Pa·m³/s（He或更低）

該控制器內部通道采用SUS316L、PTFE、磁性不銹鋼材料制造，兼顧氣密性、耐腐蝕性與長期耐久性。部分管路接頭采用1/4 inch VCR 或 Swagelok標準接口，安裝維護便捷。

HORIBA R600 適用于多類氣體控制場景

R600質量流量控制器可廣泛應用于以下場景：

  • 真空設備中的背壓調節

  • 高精度流量控制系統

  • 半導體氣體輸送流程

  • 實驗室或工業儀器設備的氣體供應控制

憑借其穩定的性能和靈活的安裝方式，R600適合用于多種不同領域中對氣體控制提出明確要求的工藝系統。

關于上海進佳科學儀器有限公司

上海進佳科學儀器有限公司致力于為客戶提供優質的實驗與工業控制設備解決方案，涵蓋氣體流量控制、真空系統、自動化控制等領域。作為HORIBA堀場產品的授權合作伙伴，公司長期服務于半導體、新材料、科研院所等行業客戶，提供技術選型支持、定制化服務與售后保障。歡迎聯系進佳了解更多產品詳情與行業解決方案。