HORIBA熱式質量流量控制器SEC-N100：適配多制程的數字流控解決方案

2025-08-21 17:53

HORIBA熱式質量流量控制器SEC-N100是一款面向非芯片半導體制程等多行業應用場景的高精度質量流量控制設備。該產品融合HORIBA在氣體流體控制技術方面的研發積淀與工程經驗，在工藝兼容性、響應速度與通訊接口方面表現出色，特別適合復雜制程和高標準控制要求的工業用戶。

SEC-N100產品核心功能：高精度控制與極速響應

SEC-N100系列支持10 SCCM至1000 SLM的大范圍流量控制，搭載與SEC-Z500系列同等級別的高性能傳感器與旁路測量結構，實現±1.0%的高精度控制。在動態工況下，設備響應時間可控制在1秒以內，有效適應快速調節需求，同時內建PID參數，便于進一步優化系統性能。產品配備數字與模擬雙重通訊接口，支持RS-485、DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT等多種工業總線協議，滿足多樣化設備集成需求，并提供出廠預設或用戶自定義量程與氣體類型的選項，提高部署的靈活性與可配置性。

SEC-N100多行業應用場景適配

HORIBA SEC-N100質量流量控制器廣泛適用于以下關鍵行業與場景：

  • 光伏制造：對PECVD、PVD等鍍膜過程中氣體比例與壓力進行精細調節；

  • 功能玻璃干法鍍膜：控制等離子體發射所需的氣體流量，提升膜層穩定性；

  • 藥品制造：支持冷凍干燥設備的真空系統氣體監控；

  • 環境監測：作為PM2.5采樣系統中的流量計核心部件；

  • 光纖制造：滿足MCVD/VAD等工藝氣體的高精度需求；

  • 實驗室氣體系統：用于科研級精密氣體輸送和控制。

這種行業橫跨性使得SEC-N100成為現代智能制造及科研實驗平臺的可靠核心流體控制部件。

SEC-N100模塊化設計與技術優勢

SEC-N100在硬件設計上充分考慮用戶定制需求，具備以下特色：

  • 多樣的閥門配置：支持電磁閥（至50SLM）與壓電陶瓷閥（100/200SLM）兩種模式，覆蓋不同流量段的應用；

  • 材質與接口優化：可選金屬或橡膠密封件，氣路表面未拋光處理，采用VCR連接，適配更高潔凈度標準；

  • 環保與標準合規：滿足RoHS環保要求，符合工業級長期使用需求；

  • 可調氣體配置：支持通過軟件快速切換氣體類型與控制量程，簡化系統切換與設備管理。

這種高度模塊化的特性，使得SEC-N100能夠快速部署在不同環境與設備上，大大提升整機適應性與項目實施效率。

SEC-N100選型與技術服務支持

HORIBA堀場在質量流量控制領域深耕多年，其SEC-N系列產品是流量控制系統國產化替代中的強力選項。目前，上海進佳科學儀器有限公司作為HORIBA的合作服務商，提供包括SEC-N100在內的系列流控設備選型指導、技術支持、樣本資料及定制化解決方案。憑借對國內市場需求的深刻理解與技術服務積累，進佳儀器能夠為各類工業客戶及研究機構提供專業、高效的售前售后支持。

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