HORIBA S48-32/HMT熱式質量流量控制器：多場景流量控制解決方案

2025-08-20 17:51

HORIBA熱式質量流量控制器S48-32/HMT是一款應用于各類工業氣體過程控制的關鍵設備，具備高精度測量、快速響應、良好線性補償和多協議通信能力。該型號繼承了S48系列一貫穩定可靠的性能表現，采用熱式質量測量原理，可直接測量并控制氣體質量流量，在不同壓力和溫度條件下依然保持精準輸出。其核心技術源自日本HORIBA STEC，由HORIBA METRON在中國本地化生產，兼顧技術先進性與交付效率。

應用場景覆蓋多個行業流程

S48-32/HMT作為HORIBA熱式質量流量控制器系列中的高性能型號，可在以下典型場景中實現高穩定性的流量控制：

  • 半導體工藝：擴散氣體供應、PECVD沉積、離子注入等需要微流量調控的制程；

  • 食品與飲料行業：混氣灌裝、冷卻干燥過程中的保護氣控制；

  • 光纖制造：MCVD、VAD、OVD等氣氛調節；

  • 工業爐與熱處理：燃燒比控制、焊接用氣混合；

  • 生物制藥：發酵氣體管理、生物反應器供氣；

  • 真空鍍膜設備：薄膜沉積過程中的氣體比例精準調節；

  • 氣體分析與色譜實驗：樣氣采集比例調控、流路穩定性管理；

  • 汽車行業：尾氣排放測試、壓縮氣體監測等實驗工況。

在上述多領域應用中，S48-32/HMT質量流量控制器能夠提供長期穩定的數據支持和流體控制能力。

技術亮點：精度、兼容性、響應性兼備

S48-32/HMT質量流量控制器的優勢體現在以下幾方面：

  • 測量精度高：采用熱式測量技術，無需環境補償，即可獲得穩定流量信號；

  • 響應速度快：電/氣響應時間均在25ms以內，適配高速控制流程；

  • 線性補償優化：具備多段線性修正機制，確保端點與中間值控制一致性；

  • 安裝靈活性強：可任意角度安裝，打破傳統MFC對位置的約束；

  • 通訊協議豐富：支持模擬量、RS485、PROFIBUS等多種工業總線，便于系統集成。

無論是連續流量控制還是批量實驗調節，S48-32/HMT都能提供精準、安全的過程管理支持。

合作信賴：HORIBA技術 + 本地服務支持

S48-32/HMT系列由HORIBA STEC設計、HORIBA METRON制造，代表了HORIBA在氣體質量流量控制領域的成熟經驗和持續創新。作為日本原裝核心部件與本地化制造能力結合的成果，產品在質量保障與交貨周期上取得良好平衡。

目前，上海進佳科學儀器有限公司作為HORIBA授權合作伙伴，長期為國內科研機構、高校實驗室、半導體設備廠商、生物工程企業等客戶提供HORIBA熱式質量流量控制器的選型支持與技術服務。進佳儀器提供靈活的供貨模式、專業的應用指導，是企業信賴的流體控制合作伙伴。如需獲取HORIBA S48-32/HMT的詳細參數資料或具體應用方案，歡迎聯系上海進佳科學儀器有限公司，我們將為您的設備配套提供專業建議與一站式技術對接。

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