日本HORIBA堀場數字式液體質量流量計LF/LV介紹
隨著半導體器件快速一體化的發展，半導體產業對高精度流量控制設備的需求日益增長，細節處理以及新材料的引入變得愈加重要。在這種背景下，HORIBA STEC作為液體質量流量計領域的重要供應商，推出了多種產品，以應對復雜的制程需求。本文將介紹其中的兩個重要型號——LF-F和LV-F。
一、日本HORIBA堀場數字式液體質量流量計LF/LV介紹
數字式液體質量流量計LF-F通過冷卻測試方式，可精確檢測低沸點和高粘度液體的流量。這款設備特別適用于要求高潔凈度的半導體制造環境，內部經過超潔凈處理，并符合RoHS環境標準。其能夠提供超低微小流量檢測，抗壓性達到10MPa，適應半導體生產中各種嚴苛的操作條件。同時，該設備通過高效、穩定的液體傳輸，有效減少了操作員的手動干預，降低了生產過程中可能的污染風險。
相似的，數字式液體質量流量計LV-F作為另一重要產品，同樣采用了冷卻測試方式，但其側重于精準流量控制。LV-F能夠精確控制低沸點和高粘度的液體流量，依托其超潔凈的內部處理和符合RoHS環境標準的設計，確保在復雜的半導體制程中保持高效運轉。該設備具備的1MPa抗壓性，更適合用于中小流量控制需求的場景。通過自動供液系統，該設備同樣可實現不間斷的液體傳輸，進一步提升了生產效率和產品良品率。
這些數字式液體質量流量計的引入，不僅僅是一種技術提升，更意味著對生產工藝精度和效率的高度重視。先進的液體源汽化控制系統通過不同的注入方式，如直接注入、混合注入等，確保了氣體的平穩有效傳輸。這些技術手段的綜合應用，使得半導體生產在效率、精度和安全性方面都得到了顯著提升，從而滿足了日益復雜的生產需求。
總的來看，HORIBA堀場的數字式液體質量流量計LF-F和LV-F憑借其精準的流量測控功能和高潔凈度處理技術，為半導體制造提供了可靠的解決方案。這不僅優化了生產流程，還顯著提高了產品的質量和一致性，推動了行業的進一步發展。這種技術上的精益求精，也為未來半導體領域的持續創新奠定了堅實基礎。
二、上海進佳科學儀器有限公司介紹
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三、上海進佳科學儀器有限公司優勢
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