HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500產品介紹

2025-09-10 08:00

介紹HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500

在工業自動化和流量控制領域，精確的質量流量計是確保工藝穩定性和產品質量的關鍵。上海進佳科學儀器有限公司長期致力于為電子半導體、光纖和生物制藥等高科技行業提供專業的流量控制解決方案。本文將詳細介紹由日本HORIBA推出的質量流量計SEC-Z500，其在半導體制程中的重要作用及核心技術特性。

HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500

SEC-Z500的核心功能與技術參數

HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500專為半導體制程設計，旨在減少實際流量與理論流量之間的差異。以下是其核心功能與技術參數：

  • 傳感器：采用溫度補償回路傳感器，能夠有效減少摩爾比熱影響。多項方程用于流量校正，并通過Data Server不斷更新傳感器數據，確保精確性。
  • Bypass設計：通過提高加工精度和安裝不同流量的BP配合傳感器，以固定的流量比確保每個Bin編號的精度。
  • 流量路徑：內部表面經過拋光處理，減少流量差異，并采用PIEZO閥，結構簡單且無熱量產生。
  • PCB板：數字式調整設計，減少電位器使用，避免機械部件損傷。
  • 校準工具：使用MolBlock進行流量調節，確保校準的精確性。

典型應用場景

SEC-Z500質量流量計廣泛應用于半導體制造過程中的多個環節，包括刻蝕、沉積和清洗等工藝。其高精度和穩定性使其成為確保半導體制程中氣體供應的理想選擇。除此之外，SEC-Z500也可以應用于光伏、光纖及LED生產等需要精確流量控制的領域。

SEC-Z500的優勢亮點

選擇HORIBA堀場的SEC-Z500質量流量計，您將享受到以下幾大優勢：

  • 精確性：通過先進的傳感器技術和流量校正算法，確保流量測量的高精度。
  • 可靠性：內部設計減少了機械部件的磨損風險，延長設備使用壽命。
  • 易于集成：模塊化設計便于與現有系統的集成，簡化了安裝和維護過程。

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作為HORIBA在中國的長期合作伙伴，上海進佳科學儀器有限公司憑借二十多年行業經驗，為客戶提供專業的產品選型咨詢與技術支持服務。我們不僅提供質量流量計的銷售，還支持定制化配件和現場技術服務。歡迎聯系上海進佳科學儀器有限公司，獲取更多關于SEC-Z500質量流量計的信息。

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