HORIBA MV-2000 液體汽化器產品介紹：高效、穩定的液體氣化解決方案
一、HORIBA MV-2000 產品概述
HORIBA MV-2000 系列是一款專為高精度氣體輸送與液體汽化需求設計的混合注入系統液體汽化器，采用螺旋流加熱原理，能在較低溫度下實現穩定汽化，適用于易熱解液體源以及要求穩定性的半導體和新材料行業場景。MV-2000 系列作為HORIBA旗下專業級設備之一，繼承了該品牌在質量流量與熱控制領域的強大技術積累，廣泛應用于CVD、MOCVD、光纖涂覆、燃料電池前驅體處理等關鍵工藝流程中。
二、HORIBA MV-2000核心技術參數解析
MV-2000 的設計兼顧穩定性、耐腐蝕性與安裝適配性，關鍵參數如下：
| 參數項 | 數值說明 |
|---|---|
| 適用液體材料 | 除HCl、HF等強腐蝕性液體外的其他液體 |
| 控溫能力 | 控制閥：最高140°C；蒸發器：最高200°C |
| 泄漏完整性 | ≤1×10?? Pa·m³/s（He） |
| 內部泄漏標準 | ≤1×10?? Pa·m³/s（He） |
| 潮濕部件材料 | SUS316L 不銹鋼 + PFA |
| 溫度傳感器類型 | K型熱電偶（CA） |
| 耐壓性能 | 1MPa（表壓） |
| 工作溫度范圍 | 15 ~ 50°C |
| 接口標準配置 | 液體入口：1/8 VCR型公頭；氣體入口：1/4 VCR型母頭；氣體出口：1/2 VCR型公頭 |
| 可選組件 | 內部超低泄漏氣閥（泄漏率 <1×10?? Pa·m³/s He） |
三、HORIBA MV-2000典型應用場景
MV-2000 系列液體汽化器在多個高端行業中展現出強大適應性：
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半導體制造：適用于高溫蝕刻、薄膜沉積（如CVD、MOCVD）等氣體源供應
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光纖與光電子：在光纖鍍膜、光學器件前處理過程中，確保前驅體汽化均勻
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新能源材料：用于燃料電池原料氣化、鋰電材料前驅體處理
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生物制藥與精細化工：對溫控與氣液混合穩定性要求高的液體供氣系統
特別適合易熱解液體源的穩定供應，其溫控能力與防泄漏性能滿足高潔凈級工藝對汽化質量的嚴苛要求。
四、HORIBA MV-2000優勢亮點總結
相較于傳統汽化裝置，MV-2000 具備如下核心優勢：
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低溫汽化能力強：采用螺旋流加熱方式，即便在較低溫度下也能實現均勻蒸發，避免液體熱解失效。
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適配高腐蝕性環境：核心部件使用PFA與SUS316L材質，耐腐蝕性優異。
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氣密性高：產品整機泄漏率控制在 ≤1×10?? Pa·m³/s，滿足半導體級別工藝要求。
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接口靈活：VCR標準配置，方便與主流質量流量控制系統聯動。
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結構緊湊，易安裝：本體高度127mm，寬度不到100mm，適合安裝于狹小系統空間。
五、HORIBA MV-2000搭配推薦與兼容性說明
MV-2000 可與 HORIBA 系列質量流量控制器（如 SEC-Z500、SEC-N100）組合使用，構成完整的氣液供給系統。同時也適配 DWYER 系列壓力變送器，構建閉環壓力調控系統。
常配件包括：
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氣密型VCR不銹鋼接頭
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定制PTFE輸液管路
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溫度控制箱與K型熱電偶傳感器模塊
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供液泵系統或壓力儲液罐（客戶已有系統可兼容）
公司可提供定制連接頭、轉換接頭與線纜方案，確保安裝匹配與氣路嚴密性。
六、上海進佳科學儀器有限公司的服務保障
作為HORIBA品牌在中國的重要合作伙伴，上海進佳科學儀器有限公司不僅具備多年代理經驗，更擁有完善的服務體系與行業資源整合能力：
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公司總部位于上海浦東，專注流量控制與過程連接解決方案超過20年；
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與HORIBA（合作15年）、DWYER（合作20年）等品牌建立穩定合作，代理資質官方認證，供貨渠道穩定；
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擁有覆蓋全國的服務網絡和專業工程師團隊，支持遠程選型指導、樣機試用、定制配件開發等一站式服務；
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公司所有產品出庫前均進行完整檢測，確保交付品質，常規型號備有庫存，特殊型號交期可控；
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服務客戶涵蓋半導體、光伏、新能源、生物制藥、高校科研機構等重點行業用戶，積累了豐富的場景支持與問題處理經驗。
無論是初次使用液體汽化器，還是需要替換升級系統設備，進佳都能提供專業選型與高效服務支持。
七、采購建議與服務引導
建議首次選購MV-2000的客戶與技術團隊溝通使用工況，我們可協助您確認：
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是否適配高腐蝕性液體
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接口類型是否與現有設備兼容
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所需配件是否可現貨供應或定制
如您有系統集成需求，也可申請樣機試用或參數匹配咨詢。
歡迎聯系上海進佳科學儀器有限公司技術工程師，獲取產品資料或快速報價。
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